工厂产线出售 国产南光真空镀膜机 进口日本光弛1300MM光学镀膜机
一、用途：
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜。
二、产品特点：
1、采用箱式结构，真空系统后置，便于操作和和维修；整机表面平整，便于清洁，适合放在净化间内作穿墙式安装。
2、设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点。
3、工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳可靠。
4、采用专业的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定可靠，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。
主要特点:
侧面双开门结构, 便于装片和换靶
独特设计预溅射挡板,工艺控制简便,节省时间
独特设计的充气和抽气系统, 有效镀膜区宽
专业脉冲偏压非平衡对靶中频磁控溅射技术,镀膜质量稳定
采用PLC工控机控制, 可实现设备和工艺手动和自动控制, 多重泵阀水电互锁互保护
安装采用全程四极质谱监控和氦质谱检漏, 真空密封性好, 设备工艺稳定可靠
转动采用磁流体引入,长期运转密封可靠
所有零部件采用国内外知名厂家, 电器元件采用进口或合资企业产品, 设备长期运行可靠稳定.
基本参数：
1. 真空室尺寸：1210mm（直径）×1200mm（高）；
2. 抽气时间速：大气到5×10-3Pa≤20min (空载, 冷态,洁净)；极限真空：优于1×10-3Pa；
3. 最高烘烤温度:300℃
4. 采用侧面对开门方式,便于工件装卸；
5. 2台φ400mm口径分子泵、1台ZJP300型罗茨泵， 2台2X-70型机械泵抽气；
6. 一套公、自转工转机构，采用下驱动方式的二维平面行星机构；自转轴20根；
7. 四对磁控溅射靶平行安装且成圆周分布，靶材尺寸：910mm×120mm（长×宽）；
8. 4路进口质量流量计进气；
9. 三台30KW中频电源及一台30KW脉冲偏压电源；
10. 控制系统采用触摸屏上位机（工控机）+下位机（PLC）的控制形式，控制系统有手动和自动，全系统具有互保护, 泵阀互锁。
地 址：广东东莞市茶山镇增卢路新益大厦（集友工业村对面）
服务热线：0769-23105805传 真：0769-23064224手机：13723521401 18103045976 杨小姐Q Q:2531943211
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